真空热处理有三种工艺，分别是哪三种工艺呢？下面有深圳市精臻热处理五金热处理加工厂家小编为你解答：

真空热处理的工艺种类繁多，但大致可以归纳为真空化学热处理、真空淬火、真空退火处理三大类。

一、真空化学处理： 很多化学热处理，原则上均可在真空中进行。真空化学热处理和其它真空热处理相似，亦能使表面光亮和提高渗层质量。除此以外，往往还能提高钢材和零件的性能，节约能源和缩短处理时间，所以它的应用日益广泛。常用的真空化学处理有真空渗碳（包括真空碳氮共渗）、真空离子渗碳和辉光离子渗氮。

二、真空退火： 真空退火的主要用途，是对高熔点的难熔金属及其合金进行回复再结晶，排除其中吸收的氢、氮、氧等气体，提高其延展性和恢复热加工前的机械性能，同时防止氧化。铜及其合金真空退火可以同时除去工艺过程中的污染物，使之具有光洁的表面。磁合金的真空退火可提高磁性能的稳定性。各种材料的真空退火要正确选用退火温度、时间、冷却速度和真空度。选择真空度应依据金属或合金的氧化特性、去气要求和合金元素的蒸发情况等而定。其他工艺参数可按材料或零件的性能要求，参考大气下常规工艺而定。 

三、真空淬火： 真空淬火就是在低真空下进行加热，然后在淬火介质中进行淬火。真空淬火加热时的真空一般为1×10-2托；淬火可以气淬、油淬，也可以水淬，甚至也可以用硝盐进行等温淬火。其中应用较广泛的是气体和油淬。真空气淬时采用惰性气体氩气或高纯氮作为淬火介质，真空油淬时采用真空淬火油做为淬火介质，同时回充惰性气体。